多軸模組

多階段系列結合線性運動、旋轉運動與智慧控制技術,打造具備高精度、高剛性的多軸運動平台。透過 X、Y、Z、θ 及多自由度的彈性配置,可實現快速客製化與無縫整合,滿足多元應用需求。專為半導體、光電、精密組裝、檢測及智慧製造等領域設計,為先進自動化應用提供可靠、高效且精準的運動性能。

PHA-series

專為先進矽光子(Silicon Photonics)與精密光學對位應用打造,直驅式六自由度(6-DoF)對位平台具備高動態響應、長行程、高定位精度及超低抖動,可於 X、Y、Z、Rx、Ry、Rz 六自由度提供穩定精確的運動控制。 採用模組化架構與彈性軸數配置,可依不同 DoF 需求及光學組裝製程客製化,適用於PIC、光纖陣列、光學引擎、CPO 模組及先進光子元件的高速、高精度主動對位(Active Alignment)。

XY Theta

X-Y-θ 平台採用高整合線性與旋轉一體化架構,在維持緊湊尺寸的同時,大幅降低模組整體高度, 提升設備空間利用率。創新的移動端無線纜設計,消除運動過程中的線纜拖曳與反覆彎折,可實 現更高速運動、更高可靠度與更長使用壽命;同時降低因線纜摩擦產生的微粒,特別適用於半導體、 無塵室及高潔淨度精密自動化設備。

UF Stage

採用僅 12 mm 超薄模組化設計,可實現高密度並列配置,在有限空間內大幅提升晶片取放密度 與設備產能。Z 軸搭載線性馬達直驅技術,具備高速響應、平順推力輸出與高可靠度;選配 θ 旋 轉軸,可實現精密角度校正與對位。內建力感測器,支援即時力量回授、精密接觸控制與 Soft Landing,特別適合多頭 Pick & Place 及高密度半導體自動化設備整合。

Z Theta

採用緊湊型 Z-θ 一體化架構,將垂直升降與旋轉運動高度整合於有限空間,滿足高密度自動化 設備需求。內建真空管路設計,簡化氣路配置並可直接整合真空吸取應用;搭配直驅技術,具備 高速響應、高定位精度與平順運動性能,適用於半導體晶片搬運、精密取放、自動化檢測及先進 封裝等高階應用。

線性/力矩馬達選型工具

透過 MOST 軟體輸入運動條件,可依據基本幾何組合計算對應的慣性矩,進而快速選出合適的馬達型號。