マルチステージシリーズ

マルチステージシリーズは、リニアモーション、ロータリーモーション、インテリジェント制御技術を融合し、高精度・高剛性の多軸モーションプラットフォームを実現します。 X、Y、Z、θおよび複数の自由度(DoF)に対応した柔軟な構成により、さまざまな用途に合わせた迅速なカスタマイズとシームレスな統合が可能です。 半導体、オプトエレクトロニクス、精密組立、検査、スマートマニュファクチャリングなどの分野に適しており、高度な自動化システムに高信頼・高効率・高精度なモーション性能を提供します。

PHA-series

先端シリコンフォトニクス向けのダイレクトドライブ6自由度(6-DoF)アライメントステージ。高応答・高精度・低振動を実現し、柔軟な軸構成でPIC、光エンジン、CPOなどのアクティブアライメントに対応します。

XY Theta

リニア軸と回転軸を一体化した低背・コンパクトなX-Y-θステージ。可動部のケーブルレス設計により、高速動作、高信頼性、長寿命、低発塵を実現。半導体製造装置やクリーンルームなど、高い清浄度が求められる精密自動化に適しています。

UF Stage

わずか12mmの超薄型設計により、高密度なマルチヘッド配置を実現。リニアモータによるZ軸ダイレクトドライブで、高速応答と滑らかな動作を実現します。オプションのθ軸や内蔵力センサにも対応し、高精度なアライメント、荷重制御、ソフトランディングを可能にします。多ヘッドピック&プレースや高密度半導体自動化に適したソリューションです。

Z Theta

コンパクトなZ-θ一体型構造により、昇降・回転機構を省スペースに統合。中空回転軸に真空配管を内蔵し、配管レイアウトを簡素化します。ダイレクトドライブによる高速応答と高精度位置決めを実現し、半導体チップ搬送、ピック&プレース、検査、先端パッケージングなどに対応します。

XYZ stage

cpc製コアレスリニアモータと高剛性リニアガイドにより、±0.5μmの繰り返し位置決め精度を実現。高い動的応答性と安定性を備えた軽量・コンパクト設計で、精密光学、マイクロアセンブリ、精密ディスペンス、医療・バイオオートメーションに最適です。

リニア/トルクモーター選定ツール

MOSTソフトウェアに動作条件を入力することで、基本的な形状の組み合わせに基づいて慣性モーメントを計算し、最適なモーターモデルを選定することができます。