マルチステージシリーズ

マルチステージシリーズは、リニアモーション、ロータリーモーション、インテリジェント制御技術を融合し、高精度・高剛性の多軸モーションプラットフォームを実現します。 X、Y、Z、θおよび複数の自由度(DoF)に対応した柔軟な構成により、さまざまな用途に合わせた迅速なカスタマイズとシームレスな統合が可能です。 半導体、オプトエレクトロニクス、精密組立、検査、スマートマニュファクチャリングなどの分野に適しており、高度な自動化システムに高信頼・高効率・高精度なモーション性能を提供します。

PHA-series

先進シリコンフォトニクスおよび高精度光学アライメント向けに設計されたダイレクトドライブ式6自由度(6-DoF)アライメントステージです。X、Y、Z、Rx、Ry、Rzの各軸で、高応答性、長ストローク、高精度、超低ジッタを実現します。 モジュール式の柔軟な構成により、PIC、ファイバーアレイ、光エンジン、CPOなどに対応し、高速・安定・高精度なアクティブアライメントを実現します。

XY Theta

X-Y-θテーブルは、リニア・ロータリー一体型の高集積構造を採用し、コンパクトな設置面積を維持しながらモジュール全体の高さを大幅に低減します。 ケーブルレスの可動構造により、動作時のケーブルによる抵抗や屈曲を抑え、高速動作、高い信頼性、長寿命を実現します。 さらに、シンプルな駆動構造によりパーティクルの発生を抑制し、半導体や精密自動化装置など、高い清浄度が求められるクリーンルーム環境に適しています。

UF Stage

わずか12 mmの超薄型設計により、高密度な並列配置と高い処理能力を実現します。ダイレクトドライブ式Z軸は高速応答・高精度・高信頼性を提供し、オプションのθ軸で高精度な回転位置決めに対応します。内蔵フォースセンサーによる荷重モニタリングとソフトランディングを実現。半導体の高密度ピック&プレースや自動化装置に最適です。

Z Theta

コンパクトなZ-θ構造により、上下・回転動作を一体化し、高密度な自動化に対応します。内蔵真空配管で接続を簡素化し、ダイレクトな真空ピックアップを実現。ダイレクトドライブ機構による高速応答・高精度・スムーズな動作を備え、半導体ハンドリング、精密ピック&プレース、検査、先進パッケージングに最適です。

Linear / Torque motor sizing tool

By using the MOST software to input motion conditions, we can calculate the corresponding moment of inertia based on combinations of basic shapes, thereby determining the suitable motor model.